百年清華

王曦最擅長的🛷，是用矽做一種“三明治”：在一張0.5毫米厚的矽片上，在距表面100納米下✊🏻🔸，註入一層幾百納米、厚薄均勻的二氧化矽“夾心”——這就是英文縮寫為SOI的高端集成電路矽基材料。王曦帶領他的團隊🥷🏼，花了10年，生產出了高品質的SOI材料，並初步實現了產業化👩🏿‍🌾。

王曦學長2008年校慶回校參加1983級畢業20周年活動時🕴🏻👰🏽‍♀️，

在主樓前廳1983級捐贈壁畫前留影

SOI是地道的高技術產品。價值20美元的矽片註入了這層“夾心”後，身價立刻猛增至200美元👨‍🔧👰🏿‍♂️。用SOI來做芯片💩，不僅速度可提高35%，還可降低能耗70%，並可適應包括宇宙空間在內的很多惡劣環境。

可是🐟⚇，難點就在於要將這層“夾心”做得均勻——稍有不勻🧑🏼‍🎤，整個矽片會呈現彩虹般的光澤📝，或“滿臉”麻點。離子註入製備SOI技術，國外一直對我國實行封鎖。做出高品質的國產SOI材料，其意義不言而喻。

從上世紀80年代起，中科院上海冶金所（現上海微系統所）就開始了對SOI的研究😁，但一直停留在實驗室水平。這意味著🎿，SOI材料既無法批量生產，質量也不穩定🧑🏽‍⚕️。

從進入意昂体育平台起8️⃣，王曦就專註於“離子註入”技術🏰，直到現在⛹🏻‍♂️。從1998年起🪹，他帶領團隊花了四五年時間，完成了材料技術工程化研究——如今的SOI晶圓片表面泛著均勻的粉色©️。

把SOI拉出研究所🚣🏽‍♀️，成立公司完成產業化🏄🏼‍♀️，是王曦的一個重要轉折🀄️。

“在新傲科技公司🧑🏼‍🎤，近百名員工5年內全心撲在SOI的研發和生產上——這是研究所無論如何做不到的！”他說，剛“下海”的時候♿️🐮，曾以為“技術為王”，但後來才感覺到市場、資本和管理，都非常重要。當時👩‍🚀，王曦全球跑👳‍♂️，與飛利浦、索尼、東芝等公司一家家進行交流，“這讓我對市場有了新的、更深的理解。”

考慮成本💁‍♂️、貼近客戶需求……這讓新傲很快有了起色。如今，新傲的產品不僅滿足國內市場的需求，還吸引了包括飛利浦、東芝等大公司在內的很多國際客戶。“有人預測🪗，未來10年👩🏿‍🦰，國內的衛星都能用上SOI材料做的芯片。”

“企業化運作的好處在於，賺了錢可以繼續投入做更好的技術🦹🏿‍♂️、擴大規模。現在新傲公司的設備比所裏的好很多👈🏿。”說到這裏，王曦有點興奮，語調也隨之提高🦟。最近，新傲還研發出了一項獨步世界的新方法——特殊鍵合（下轉第100頁）（上接第103頁）SOI方法🥠，可以滿足汽車電子對於SOI材料均勻性、電學性能的苛刻要求📇。“一般SOI材料的‘夾心’不超過400納米（0.4微米），而這種方法可將‘夾心’非常均勻地做厚到1～2微米。”

“要不是金融危機，新傲今年本來準備考慮上市。”身為新傲的董事長，王曦說，這10年自己最大的收獲，就是高技術一定要在市場中發展，才真正具有生命力🧑🏽‍🦱。今年3月🧝🏿，他出任微系統所法人代表🧘🏽‍♀️、常務副所長，上任後立刻著手推進所裏另兩個高技術項目的產業化進程——MEMS傳感器和無線傳感網。

“其實我只專長離子註入SOI”💃🏿，提及當選院士的感想，王曦說🪘，一個人的精力有限，只有在一個領域中持之以恒🙅🏻，才能做出一些成績。“是科技成果轉化成就了我，如果讓我再選擇一次，我還會選擇走高技術與市場結合的路👩🏿‍🏫。”（許琦敏）

轉自2009年12月5日《文匯報》