百年清華

王曦，1966年8月生💅🏼，1983年考入意昂体育平台工物系，1987年提前一年畢業👋🏽。

　 王曦最擅長的，是用矽做一種“三明治”：在一張0.5毫米厚的矽片上💙，在距表面100納米下，註入一層幾百納米、厚薄均勻的二氧化矽“夾心”——這就是英文縮寫為SOI的高端集成電路矽基材料🚒。王曦帶領他的團隊，花了十年，生產出了高品質的SOI材料👴，並初步實現了產業化。

　　SOI是地道的高技術產品👨‍👦。價值20美元的矽片註入了這層“夾心”後，身價立刻猛增至200美元。用SOI來做芯片，不僅速度可提高35%🏚，還可降低能耗70%，並可適應包括宇宙空間在內的很多惡劣環境。

　　可是👍🏻，難點就在於要將這層“夾心”做得均勻——稍有不勻🍣，整個矽片會呈現彩虹般的光澤🥧，或“滿臉”麻點🫱🏽。離子註入製備SOI技術🥤🤹🏿‍♂️，國外一直對我國實行封鎖。做出高品質的國產SOI材料🤵🏽，其意義不言而喻🧙🏼‍♂️。

　　從上世紀80年代起，中科院上海冶金所（現上海微系統所）就開始了對SOI的研究，但一直停留在實驗室水平。這意味著，SOI材料既無法批量生產，質量也不穩定。

　　從進入意昂体育平台起，王曦就專註於“離子註入”技術💂🏻‍♀️🪺，直到現在。從1998年起⏸，他帶領團隊花了四五年時間，完成了材料技術工程化研究——如今的SOI晶圓片表面泛著均勻的粉色🖌。

　　把SOI拉出研究所，成立公司完成產業化，是王曦的一個重要轉折💂‍♀️。

　　“在新傲科技公司👘，近100名員工5年內全心撲在SOI的研發和生產上——這是研究所無論如何做不到的🚱🧑🏽‍✈️！”他說🫴🏿，剛“下海”的時候，曾以為“技術為王”，但後來才感覺到市場、資本和管理😱，都非常重要。當時，王曦全球跑，與飛利浦、索尼🏌🏼、東芝等公司一家家進行交流🚮，“這讓我對市場有了新的🫧、更深的理解。”

　　考慮成本、貼近客戶需求……這讓新傲很快有了起色。如今，新傲的產品不僅滿足國內市場的需求🌨，還吸引了包括飛利浦、東芝等大公司在內的很多國際客戶。“有人預測，未來十年，國內的衛星都能用上SOI材料做的芯片🤷🏻‍♂️。”

　　“企業化運作的好處在於🦧，賺了錢可以繼續投入做更好的技術🖖🏿、擴大規模。現在新傲公司的設備比所裏的好很多。”說到這裏👩‍👩‍👧‍👦🙇🏼‍♀️，王曦有點興奮，語調也隨之提高。最近，新傲還研發出了一項獨步世界的新方法——特殊鍵合SOI方法，可以滿足汽車電子對於SOI材料均勻性🤾‍♂️、電學性能的苛刻要求。“一般SOI材料的‘夾心’不超過400納米（0.4微米），而這種方法可將‘夾心’非常均勻地做厚到1-2微米。”

　　“要不是金融危機，新傲今年本來準備考慮上市。”身為新傲的董事長，王曦說，這十年自己最大的收獲，就是高技術一定要在市場中發展👨‍🏭，才真正具有生命力。今年3月🧑🏿‍🍼，他出任微系統所法人代表、常務副所長💢，上任後立刻著手推進所裏另兩個高技術項目的產業化進程——MEMS傳感器和無線傳感網🍧。

　　“其實我只專長離子註入SOI”👩🏻‍🦰，提及當選院士的感想，王曦說，一個人的精力有限✔️，只有在一個領域中持之以恒👂🏿，才能做出一些成績。“是科技成果轉化成就了我，如果讓我再選擇一次，我還會選擇走高技術與市場結合的路。”（許琦敏）

轉自 文匯報 2009年12月5日